技术编号:19022228
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请要求于2017年3月17日递交的美国非临时专利申请第15/462,203号的优先权,该美国非临时专利申请名称为“用于在装载机构中加热基板和减少污染的电子装置制造系统、方法与设备(ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING SYSTEMS,METHODS,AND APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATES AND REDUCING CONTAMINATION IN LOADLOCKS)”(代理人案号24790/USA),因此出于所有目的通过引用将上述...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。