技术编号:19028710
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及晶圆技术领域,尤其涉及一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置。背景技术现在的晶圆生产完成后,往往是人工进行下料搬运,人工下料效率低,同时,对人工要求量大,降低了实用性,为此,我们提出了一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置。实用新型内容本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置。为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置,包括第一支撑板,所述第一支撑板的顶端侧壁固定有气缸,气缸的活塞杆穿过第一支撑板固定有第二支撑板,第...
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