技术编号：19032422
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及液态源供应领域，尤其涉及一种大流量液态源供应装置。背景技术TMA三甲基铝是一种重要液态源，由于小包装瓶的体积和重量都易于搬运也易于设计成内置式，因此现有技术中通常是将小于200L的小包装源瓶内置在防爆柜体内，但随着规模化生产需要，TMA源瓶包装容积也在从常用的125L向500L增大，而500L的大包装源瓶的安全便利操作在现有技术中尚未得到完善。因此，现有技术还有待发展。实用新型内容鉴于上述现有技术的不足之处，本实用新型的目的在于提供一种大流量液态源供应装置，旨在实现安全方便使用50...
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