技术编号:1903700
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种,依次包括如下步骤a)对多晶硅铸锭后熔融石英坩埚碎片进行清洗分拣;b)对所述石英坩埚碎片进行非晶化处理;c)对所述石英坩埚碎片进行湿式粉碎;d)对粉碎后的石英坩埚碎片进行制浆,采用等静压方式成型;e)进行晾干及烧结处理。本发明提供的,通过对多晶硅铸锭后熔融石英坩埚碎片进行清洗分拣,非晶化处理,湿式粉碎以及等静压方式成型,能够避免石英材料的浪费,大大降低添加剂的加入量,避免引入杂质来源,从而使得再生坩埚具有成型强度高、致密度大、密度均匀、成品...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。