技术编号:19043799
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及化学气相沉积镀膜设备技术领域,特别是一种热丝CVD纳米金刚石涂层设备。背景技术化学气相沉积镀膜设备是通过反应的方式,利用加热、等离子激励或光辐射等各种能源,在镀膜设备内使气态或蒸汽状态的化学物质在固界面上经反应形成一层膜。目前,现有的化学气相沉积镀膜设备在模具内孔上制备纳米金刚石涂层过程中,涂层过程中的热丝温度、反应气体的输送均由人工控制,且工作环境未处于真空下,使纳米金刚石涂层的质量下降,产效率降低,而且,发热丝的热场温度调节及反应气体输送量不精准,反应气体热解效率低,导致纳米金...
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