技术编号:19054401
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微器件领域,尤其涉及一种线圈及其制作方法。背景技术线圈作为电子元件之一被广泛应用于电感器件中。但是,如何高效、低成本的批量制作高精度线圈一直是个难点。因此,有必要提出一种方案来解决上述问题。发明内容本发明的目的在于提出一种线圈及其的制作方法,其可以通过圆片工艺,批次性、高效、低成本的制作高精度的线圈。为解决上述技术问题,根据本发明的一个方面,本发明提出了一种线圈的制作方法,其包括:在圆片的第一表面沉积金属并图形化得到第一表面图形化金属;在所述圆片的第二表面蚀刻通孔,所述通孔从第二表...
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