技术编号:1910378
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。。步骤如下(1)在玻璃常规清洗后,在玻璃表面用离子束溅射方法溅射沉积5~20nm厚的Ti或Si单质元素薄膜,作为结晶诱导层;(2)采用直流反应磁控溅射方法,在结晶诱导层上反应溅射沉积氧化钒薄膜;反应溅射靶材用纯度为99.96%的高纯钒与不同原子比的掺杂元素融合制成;反应溅射源气为Ar/O2混合气体,Ar/O2的流量比例为5%~10%;(3)沉积氧化钒薄膜后,采用卤素灯光加热的快速热处理技术对其进行热处理;整个热处理过程温度在450~550℃,时间为10~2...
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