技术编号:19106779
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及显示装置的制造技术领域,具体涉及一种点蒸发源以及蒸镀设备。背景技术有机发光二极管是利用形成p-n结的有机薄膜层,从注入阳极的空穴与阴极的电子结合后发光的器件,具有响应速度快,重量轻,柔韧性好,视角广,低功耗等优点,是极具发展前景的新一代显示技术。为了满足大型OLED显示屏、OLED高分辨率手机显示的消费需求及量产效率最大化,通常使用基于大面积玻璃的量产工艺,在制作过程中最重要的工艺是有机薄膜及无机薄膜蒸镀的工艺。主要采用真空蒸镀工艺,是将装有粉末或是颗粒状蒸镀材料的点蒸发源(Poi...
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