技术编号：19121585
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体涉及流体控制阀。特别地，本发明涉及一种改进的两级流体控制阀，其包括第一级电子可切换的双稳态双通阀，其配置成控制向第二级微型阀的流体流动，比如用于需要正向关闭功能的系统。背景技术MEMS(微机电系统)是一类体积小的系统，具有尺寸在微米范围内的特征，即约10μm或更小。这些系统具有电气和机械部件。术语“微加工”通常理解为表示MEMS器件的三维结构和移动部件的生产。MEMS最初使用改进的集成电路(计算机芯片)制造技术(比如化学蚀刻)和材料(比如硅半导体材料)来微加工这些非常小的机械装置。今天...
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