技术编号:19123872
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及敏感结构激光精密修调技术领域,尤其涉及一种音叉敏感结构修调在线测试方法及角速率传感器。背景技术在石英音叉敏感结构加工过程中,由于加工工艺误差以及石英材料本身所固有的各向异性特性,加工出的敏感结构总是不完全对称,这种不对称性在石英音叉敏感结构作为角速率传感器时,作为误差信号输出。具体表现为:当外界沿角速率传感器输入轴的角速度为零时,正常情况下,敏感结构的两个驱动叉指在平面内做反相差模运动,无面外运动存在,因为敏感机构加工的不对称性,导致两个驱动叉指在做面内反相差模运动的同时,在面外也存在...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。