技术编号:19125226
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开的实施例涉及微量气体检测技术领域,具体涉及基于金刚石微悬臂梁的气体检测系统和方法。背景技术气体检测是当前比较热门的技术,已经在工业生产、医学诊断、环境监测、国防、智能电网等领域得到了广泛应用。目前常用的气体检测技术主要分为非光学检测技术和光学检测技术。非光学检测技术主要有气体密度检测技术、电子捕获检测技术、真空负离子捕获技术、紫外电离技术、超声波技术、负电晕放电技术、气敏传感器检测技术、质谱法等。光学检测技术主要有气相色谱法、红外激光成像技术、红外吸收光谱法等。光声光谱技术是一种间接吸收光...
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