技术编号:19125351
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及表面缺陷检测,特别是一种针对超光滑元件表面的显微散射偏振成像表面缺陷测量装置和测量方法。背景技术大口径超光滑元件(表面粗糙度均方根值小于1nm)广泛应用在光刻系统、高功率强激光系统、天文望远系统以及超大规模集成电路等高端装备中。在强激光系统中,随机分布在元件表面的划痕、麻点等缺陷对入射光产生调制,使局部光场极大增强,超出元件损伤阈值。划痕、麻点中残留的抛光液中的金属离子和污染物对入射光产生强烈吸收,导致元件局部炸裂,直接威胁整个系统的安全运行。另外,表面缺陷对入射光产生的散射会引起成像...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。