技术编号:19137449
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及单晶硅生产制造领域,特别是涉及一种单晶硅棒取棒保护装置。背景技术加料式拉制单晶硅是目前生产单晶硅棒常用的方式之一,即单晶硅棒拉制一定长度后,将单晶硅棒取出,重新加料熔化,继续第二根单晶硅棒的拉制。单晶硅棒在拉制成型后,在出棒的过程中,需要将单晶硅棒先从坩埚中升高至副室中,副室为圆柱型空腔结构,单晶硅棒位于空腔中心轴位置,且只有上端固定。当副室的旋转带动单晶硅棒移出时,会造成单晶硅棒的晃动,尤其在旋转启动、停止过程中由于惯性作用会加剧单晶硅棒的晃动,容易造成单晶硅棒的掉落及晶棒与副室...
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