技术编号:1914136
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种用于光泵浦源的表面放电陶瓷基板,包括陶瓷本体和沉积于陶瓷本体上的金刚石耐烧蚀涂层,且金刚石耐烧蚀涂层仅沉积在陶瓷本体表面将产生表面放电的区域。该表面放电陶瓷基板的制备方法包括配制含金刚石粉的悬浊液;使用氢氟酸溶液对陶瓷本体进行预处理,预处理完成后,再使用悬浊液对陶瓷本体种植籽晶;对陶瓷本体不产生表面放电的区域进行遮挡;在陶瓷本体的表面热丝化学气相沉积金刚石耐烧蚀涂层,得到表面放电陶瓷基板。本发明的产品耐等离子体烧蚀性能好,重复使用次数高,成本小。专利说...
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