技术编号:19150534
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及掩膜版清洗技术领域,具体涉及一种掩膜版精密再生工艺及其系统。背景技术有机电致发光显示器件(oled)作为显示器的一大分支,因oled属于自发光,不像lcd需要借助背光,故厚度薄、可视度和亮度均高,其次是电压需求低且省电效率高,加上响应速度快、重量轻等特性,被视为21世纪最具有前途的产品之一。oled制程中,在掩膜版(或挡板)与其基板对位的过程中,如果挡板或掩膜版开孔处存在杂质或异物,制作出的oled会出现像素不良、破坏oled基板等而导致不良。目前,小世代线使用的挡板或掩膜版(如g4....
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