一种声表面波器件的频率特性连续调节检测方法及其检测系统及发生器与流程技术资料下载

技术编号:19150775

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本发明涉及检测方法,更具体的说是一种声表面波器件的频率特性连续调节检测方法及其检测系统及发生器。背景技术声表面波是指在弹性介质表面传播的声波,其能量大部分集中在弹性材料的表面上。相较于体声波,声表面波需要更少的激发能量,可利用等离子键合等技术很方便地将反应容器集成到声表面波驱动的微操控芯片上,且不需要容器有很好的声波反射性质,可兼容已有的微流控技术。在药物制备及输送和生物化学分析等领域,都离不开把微米级的物体作为研究对象。声表面波可由叉指换能器激发,其设计频率可达1mhz至1ghz,可以很好地应...
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