技术编号:19152302
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及精密测量技术领域,尤其涉及一种运动台直线位移测量及偏转检测装置。背景技术车床等设备上的运动台做直线运动时需要高精度定位测量,同时由于导轨加工误差及磨损、驱动电机及制动结构老化等原因,导致实际中机床直线运动台会产生偏转或偏移,导致定位测量出现误差,严重影响加工精度。目前利用运动台直线位移测量及偏转检测装置实现对高精度机床直线运动台高精度定位测量和对偏移量的检测,但是现有的运动台直线位移测量及偏转检测装置的测量精度低。发明内容本发明的目的在于提供一种运动台直线位移测量及偏转检测装置,旨在解...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。