技术编号：19153832
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉一种柔性器件的结构设计及制备该类器件的方法，具体涉及一种动态可重构的柔性等离激元调制器件及其制备方法。背景技术高效、紧凑、可控的光学元件对获得下一代高密度的光电集成回路具有重要意义。通常，采用干涉光刻、电子束曝光、聚焦离子束刻蚀等传统的纳米制备技术在刚性衬底上制备出的光电元件或器件，其光学性质就被确定下来了。这些确定的光学特性仅可应付集成光子学中的波导、传感和增强等被动功能，而在调谐、调制/开关、激射等主动功能方面受到限制。与基于刚性衬底的器件相比，将柔性/弹性衬底与功能性元件结合而形成...
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