技术编号：19153834
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电光调制器件，特别是一种用于产生超宽带脉冲信号的基于硅基微环耦合马赫曾德调制器。背景技术随着计算机和通信技术的发展，现代社会对信息的需求量呈指数增长。在短距离通信方面，随着芯片尺寸的不断减小，速度不断提高，传统电互连面临寄生效应加剧、传输带宽受限等一系列瓶颈,光互连因其具有不同信号之间传输互不干扰、大带宽等优势，已成为代替金属互连的理想解决方案。电光调制器是这一领域的核心器件之一，研究高调制带宽、高消光比、低功耗、易集成及低成本的电光调制器具有重要现实意义。相较于目前普遍商用的铌酸锂调...
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