技术编号：19155039
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种塔式升降机。更具体地，本发明涉及一种使用滑架模块竖直运输物体的塔式升降机。背景技术一般来说，在半导体或显示器的制造过程中，半导体晶片或显示器基板可以通过塔式升降机在多个楼层的洁净室之间在竖直方向上进行运输。塔式升降机可以包括用于运输物体的滑架模块，在竖直方向上延伸且用于引导滑架模块的导轨被安装至的主框架，设置在滑架模块后面的配重模块，以及使用正时皮带在竖直方向上移动滑架模块和配重模块的驱动模块。此外，塔式升降机还可以包括用于连接滑架模块和配重模块的平衡皮带以及用于调整平衡皮带的张力...
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