采用具有不同磁场灵敏度的隧道磁阻(TMR)器件以提高检测灵敏度的TMR传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:19158361

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优先权本申请要求2017年3月30日提交的标题为“tunnelmagneto-resistive(tmr)sensorsemplyingtmrdeviceswithdifferentmagneticfieldsensitivitiesforincreaseddetectionsensitivity”的美国专利申请序列第15/474339号的优先权,其全部内容通过引用并入本文。本公开的技术总体上涉及磁阻(mr)器件,更具体地,涉及将mr器件用作mr传感器(诸如生物传感器),用于检测磁场(诸如由磁性...
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