技术编号:19160795
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种旋转靶材,特别涉及一种旋转镍铬合金靶材及其制备方法。背景技术靶材作为溅射镀膜中的重要耗材,其质量直接关系镀膜产品的优劣。影响靶材质量的主要因素是:靶材致密度、晶粒尺寸大小及均匀性等。靶材致密度越高,放电现象越弱,性能越好。对于同一成分的靶材来说,晶粒尺寸小的溅射速率较快且均匀性好的,薄膜厚度分布也相对均匀。目前镍铬合金靶材主要应用于低辐射玻璃、半导体、光通讯工业等行业。随着通讯行业、新能源行业的技术升级,特别是5g等对于性能提升的迫切需求,高品质合金靶材的附加值必然升高,市场前景较...
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