技术编号:19160822
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及气相沉积设备领域,尤其是片材纵置运输小车及气相沉积设备。背景技术气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程,在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层。在进行气相沉积时,有时需要将工件放置在治具上并在不同的腔体之间移动,对于一些片材类的工件,如果其以平躺的方式放置在治具上时,则其占据的水平空间较大,这就使得沉积腔体也必须足够大才能够有效的放置材料。同时,当工件从一个腔体移动至另一腔体时,过宽的工件也会要求腔体之间的阀门打开足够的空间才能够通过,一方面,阀门开闭的时间损耗较...
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