技术编号：19160824
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太阳能工艺设备领域，更具体地说，是涉及一种在一个腔体内对多个石墨舟同时镀膜的工艺方法及镀膜装置。背景技术随着新能源行业的发展，太阳能作为人类取之不尽用之不竭的可再生能源，其特有的充分清洁性，绝对安全性，相对的广泛性，在长期的能源战略中具有重要的影响地位。pecvd设备作为太阳能电池片镀减反射膜的主要设备。其工作原理是利用等离子增强化学气相沉积法给硅片镀上一层减反射膜。石墨舟作为pecvd设备工艺的载体，石墨舟的大小和承载硅片的数量决定了设备完成一次镀膜的工艺能得到的镀膜后硅片的数量，此...
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