技术编号:1918430
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种高精度晶棒切割位置标记装置,其包含有X射线定位平台,所述X射线定位平台中包括平台底座,以及设置在底座上的X射线发射器、X射线接收器与显示屏;所述显示屏与X射线接收器之间电性连接。所述平台底座上设置有用于固定晶棒的晶棒固定装置,以及用于对晶棒进行标记的晶棒标记装置;所述晶棒固定装置与平台底座之间设置有,可使得晶棒固定装置相对平台底座进行旋转的旋转设置;采用上述技术方案的高精度晶棒切割位置标记装置,其可有效确定晶棒的晶面,并对其进行标记,使得...
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