功率模块及其制造方法与流程技术资料下载

技术编号:19187186

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本实施方式涉及功率模块及其制造方法。背景技术作为功率模块的一种,以往已知下述功率模块:在包含绝缘栅双极晶体管(igbt:insulatedgatebipolartransistor)那样的功率元件(芯片)的半导体器件外围,用树脂成型。工作状态下,半导体器件发热,因此一般在基板的背面侧配置散热片、散热鳍等散热器而散热,将半导体器件冷却。尤其是近年来,为了低热阻化,基板部的厚铜化正在不断推进。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2015-195415号公报非专利文献非专利文献1:梨子田典弘、日向...
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