技术编号:19187892
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种监视向等离子体产生装置的多个电极供给的电流或者电压的指标值的信息处理装置。背景技术在等离子体产生装置中,如下述专利文献所记载的那样,向反应室供给处理气体,向配设于反应室的多个电极供给电力。由此,在反应室中产生放电,处理气体被等离子体化。因此,通过监视向等离子体产生装置的多个电极供给的电流或者电压的指标值,能够恰当地执行基于等离子体产生装置的等离子体处理。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2016-070447号公报专利文献2:日本特开2015-149263号公报发明内容发明所...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。