技术编号:1919559
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于单晶硅棒加工设备领域,旨在提供一种全自动单晶硅棒切方磨削复合加工一体设备;其中包括底架、切方动力头驱动组件、磨削动力头驱动组件、外罩单元、边皮输送机构、尺寸检测单元、晶向检测单元、切磨工作台和机械手及储料台组件;所述底架中部设有两根平行的主导轨,所述切磨工作台安装于两根主导轨上,并由设置在底架上的主驱动电机通过底架上的主丝杆进行驱动,使其能沿着主导轨移动;本实用新型的有益效果有晶棒的切方磨削加工在一台设备中全自动进行,可有效缩短晶棒流转的耗时...
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