技术编号:19200345
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及气相沉积炉配件技术领域,特别是涉及一种气相沉积炉用尾气除油过滤装置。背景技术气相沉积炉是利用化学气相沉积(chemicalvapordeposition)的原理,将参与化学反应的物质,加热到一定工艺温度,在真空泵抽气系统产生的引力作用下,引至沉积室进行反应、沉积,生成新的固态物质。工业生产中气相沉积炉尾气成份复杂,现有技术中气相沉积炉的尾气由滑阀真空泵从炉体内靠负压抽出后直接进入环保设备进行尾气处理,但是,在生产过程中真空泵油受热后部份蒸发以油气形式随尾气一起被抽出,导致尾气中油气...
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