用于通过调节体调节测量装置的方法、调节体以及用于调节调节体的方法与流程技术资料下载

技术编号:19223729

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本发明涉及一种用于调节测量装置的方法,该测量装置包括干涉仪单元、光学距离或位移测量装置以及可沿滑动轴线移动的支撑滑块。测量装置特别被配置成测量球形工件例如透镜上的半径。本发明还涉及一种可用于调节测量装置的调节体以及一种用于调节多件式调节体的方法,该多件式调节体包括球形制品和后向反射器。背景技术对于球形工件的半径测量,工件定期被带入两个特征位置。在一个特征位置,从干涉仪单元发射的球形波前在波前的焦点处照射在工件的表面上。这个位置被称为“猫眼位置”。在另一个特征位置(共焦位置),球形波前的传播方向在...
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