技术编号：19227391
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请是申请日为2014年6月24日、申请号为201480035997.2、发明名称为“用于有源电路封装的微型机电系统(mems)装置防静摩擦的装置和方法”的中国发明专利申请的分案申请。相关申请交叉引用本专利合作协定(pct)申请要求于2013年6月25日提交的美国专利申请序列号13/926,257，其发明内容通过引用整体并入本文。本发明一般涉及在具有以专用集成电路(asic，applicationspecificintegratedcircuits)晶片封端的微型机电系统(mems，micro...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。