技术编号：19280816
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种mems压力传感器装于环形波纹管的接触力传感器。背景技术力、压力的测量在工程技术、日常生活中具有广泛的需求，具有广阔的市场。大家最为熟悉的是“天平”，就是最典型的重力测量技术，通过天平的平衡，获得重力信息，大家熟悉的“海拔高度”，通过大气压压力测量，获得海拔高度信息。为了满足不同的具体要求的力测量需求，产生了各种先进的测力方法，这些技术可以完成自动测量，如弹簧秤测力、应变测力、压力计测力等。压力传感器是一类重要的高精度、大量程、引用最多的一种接触力传感器，广...
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