技术编号：19283450
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于串扰防护的方法和设备。更具体地，本发明涉及包括至少一个微机电传感器的电子部件封装中的串扰防护。背景技术微电子机械系统(简称为mems)可以被定义为其中至少一些元件具有机械功能的小型化的机械与电子机械系统。由于利用用于创建集成电路的相同或相似的工具来创建mems器件，因此可以在同一硅片上装配微机械件和微电子件。可以应用mems结构来快速且准确地检测物理性质的非常小的变化。例如，可以应用微电子陀螺仪来快速且准确地检测非常小的角位移。对mems结构的可移动部分的移动的检测例如可以是电容性...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。