技术编号:1930265
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供了一种圆柱形硅棒夹具的固定装置,旨在解决现有圆柱形硅棒夹具的卡爪在夹持硅棒时,容易对硅棒的表面产生压痕的问题,包括上表面的四个角上分别设有四个垂直于上表面的导向柱的下压块,每个导向柱的上部设有螺纹;固定装置还包括从上到下依次套接在四个导向柱上的下模块、上模块、上压块、四个分别设置在四个导向柱上的压紧螺母;所述上模块的下表面设有与硅棒相配的上弧形槽,所述下模块的上表面设有与硅棒相配的下弧形槽。本实用新型中设有上压块、下压块、上模块和下模块,方便...
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