技术编号：19320568
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及运动平台领域，具体为一种用于x射线检测装置的拱桥式运动平台。背景技术x射线检测装置主要面向集成电路封装可靠性检测，检查电路及其封装以检查缺陷的存在以便确定缺陷的原因，在半导体封装检测领域具有重要应用。集成电路技术的发展，对用于x射线检测装置提出了以下几点要求：1)运动平台高稳定性，以提高细节分辨力。提高x射线检测装置运动平台的谐振频率和环境振动隔离，抑制环境振动激励，从而降低射线管、工作台面和探测器面处的振动；2)多轴运动，可允许探测器在若干平面内进行相对转动，实现物体的倾斜扫描检测功...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。