技术编号：19324063
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。【技术领域】本发明属于微机械电子传感器计量领域，具体涉及一种具有纯轴向变形敏感梁的面外压阻式加速度计芯片及其制备方法。【背景技术】随着微加工工艺的不断发展，基于mems技术的产品在日常生活中应用的越来越广泛，而mems传感器主要由于具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、易于集成等优点，已经成为微型传感器的主力军，正在逐渐取代传统机械传感器，广泛应用于消费电子产品、汽车工业、甚至航空航天、机械、化工及医药等各领域。mems压阻式加速度传感器的工作原理与应变片式加速度传感器相比，主要的差别是电阻变化...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。