技术编号:19324218
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。相关申请本申请根据35usc§119(e)要求2013年1月27日提交的题为“methodandsystemforproductionofsiliconanddevice(用于生产硅和器件的方法和系统)”的美国专利申请us13/751,090的优先权的权益,其全部内容通过引用并入本文。本申请为2014年7月28日通过pct途径进入中国的题为“用于生产硅和器件的方法及系统”的中国专利申请201380007035.1的分案申请。本发明涉及一种利用氢源如氢气,氢离子(质子)和氢原子催化气化包括单质硅,...
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