技术编号：1934422
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及冶炼装备，具体是一种多晶硅氢化炉用炭/炭复合材料发热体。 背景技术在多晶硅生产过程中会产生剧毒的四氯化硅尾气，为了处理这些尾气可以将它们通入到氢化炉中，使四氯化硅与氢气发生氢化反应，再将生成的三氯氢硅返回到还原炉中作为原料使用。氢化炉采用石墨或者由长纤维编制而成的炭布增强炭复合材料作为发热体。由于石墨发热体比较脆、且强度低，因此它的使用寿命很短。目前普遍选用“由长纤维编织而成的炭布和薄毡复合针刺的预制体”作为增强材料，用这种方法制备炭布增强炭复合...
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