技术编号:1934840
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种光阻预烤炉加热器温度控制装置,特别是指一种运用在液晶显示装置(LCD)制程上的光阻预烤炉加热装置,能使加热区域的热板达到均温,以提升产品品质及生产合格率。其主要由腔体、加热器、热板及温度感应器所组成,该腔体为一容槽状,位于支撑底板上方设有加热器,并可对热板进行加热,而该热板内设置有复数个温度感应器,以侦测热板各区域的温度,再利用每一温度感应器所侦测的温度作为参考值,以调整加热器的温度,使热板中央、环边或端边的温度一致,能将放置于热板上烘烤...
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