技术编号：19352009
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于金属微纳结构制备领域，具体涉及一种金属微纳类螺旋结构及其制备方法。背景技术纳米结构具有独特的特性，如较大的比表面积，提供了广泛的工程应用，如电子、光学、生物、热和流体动力学。它们可以用来缩小许多工程产品的尺寸，因此，迫切需要新的纳米制造技术来满足这一需求。低成本的纳米结构需要一种简单、高通量的制备工艺。近年来，三维纳米结构因其具有广阔的应用前景而备受关注。但一般的三维结构的制作工艺比较繁琐，精度不高。实验上常用制作三维纳米结构的方法是阴影微球光刻技术，通过自组装的小球做基底，利用阴影制...
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