技术编号:1935510
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光电材料,特别涉及用于制备氧化物透明导电薄膜的靶材。透明导电氧化物(transparent conductive oxide)(简称TCO)薄膜主要包括In、Sn、Sb、Zn和Cd的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料,具有禁带宽、可见光谱区光透射率高和电阻率低等共同光电特性,TCO薄膜因其既透明又导电的优异性能而得以广泛应用。目前TCO薄膜的主要应用领域有平面液晶显示(LCD)、等离子体显示(PDP)、场致发射显示(FED)、电致发光显示(ELD)...
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