技术编号:19389917
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于太阳能电池生产设备技术领域,具体涉及一种扩散均匀的扩散烧结炉。背景技术扩散工序是整个硅太阳能电池制备中的最关键的工序,扩散工序生成pn结,而pn结的均匀性、可控性一直是太阳能电池研究领域的重点。常规电池为p型基底,需要扩散n型层,通常使用三氯氧磷作为磷源进行气源携带扩散,将硅片竖直并排插入石英舟内,再将石英舟水平放置在扩散炉管内进行加热并通入磷源进行扩散。在这个过程中磷源中的磷元素会均匀的进入硅片表面,从而得到我们需要的n型层。扩散烧结炉一般是一个密闭的加热腔室,内部为石英管(即扩...
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