技术编号：19416262
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微纳光学和偏振光学领域，具体是指一种共振型soi超表面及其在纳米印刷术中的应用。背景技术目前，超表面由于其简单的结构及对光波的精确调控而广受关注。基于超表面的各种光学器件相继被研发，例如透镜、全息片、光栅等。然而，大规模化制造加工是超表面面临的最大问题，因此，需要发展新的超表面的设计方法以兼容目前光学器件的加工工艺，并适应目前光学系统日益微型化、集成化的新趋势。本发明提出一种基于共振型soi超表面的纳米印刷术，不仅实现了具有高分辨率、连续灰度信息的灰度图像存储及再现，更设计了一种可与半...
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