技术编号：19416527
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于动态可调超表面领域，更具体地，涉及一种静电式动态可调反射式变焦超表面透镜及其制备方法。背景技术超表面作为一种新型的二维材料，可以对电磁波的振幅、相位、偏振和涡旋等多种性质进行调控，具有体积小、厚度薄和多功能特性，并且超表面和cmos工艺相兼容，具有广泛的应用前景。静态超表面透镜由于在制备过程中的生长、曝光和刻蚀过程易引入误差，使得最终焦距和设计焦距产生偏移造成误差。该误差使得超表面透镜成品率降低。微机电系统(mems)通常利用液晶、石墨烯、机械、热变、静电等方式，可以在微小尺度上实现对...
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