技术编号:19419550
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及弹性波元件及其制造方法。背景技术已知移动电话等中所使用的能够作为滤波元件、振荡器发挥功能的弹性表面波器件、使用了压电薄膜的兰姆波元件、薄膜谐振器(fbar:filmbulkacousticresonator)等弹性波器件。作为这样的弹性表面波器件,已知将支撑基板与传播弹性表面波的压电性材料基板贴合、在压电性材料基板的表面设置了可激发弹性表面波的梳形电极的弹性波器件。通过像这样地将热膨胀系数比压电性材料基板小的支撑基板粘贴于压电性材料基板,抑制温度变化时压电性材料基板的大小变化,抑制作为...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。