技术编号:1944346
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 背景技术本发明涉及在透明衬底上沉积掺杂氧化锌涂层的方法,更具体 地,本发明涉及在玻璃衬底上沉积掺镓或铝氧化锌涂层的化学气相沉 积法。掺杂氧化锌涂层的沉积,已见报于专利文献。例如,美国专利6,268,019公开了在例如玻璃的衬底上的高透光性且低电阻率的氧化 锌薄膜。该专利讲授了以下方法在不同于薄膜形成空间的空间里通 过活化能活化起始原料气体,从而形成有助于沉积薄膜形成的前体, 在不同于薄膜形成空间和上述空间的空间里通过活化能活化起始原 料气体,从而形成与前...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。