技术编号:19473220
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于磁控溅射镀覆领域,具体涉及一种用于长外包壳管的立式磁控溅射镀膜装置。背景技术当前世界对于清洁能源的需求越来越大,而核电具有绿色环保、产能巨大的优势,同时作为高辐射的工业,其安全问题不容小视。驱动发电机的高温水蒸气要通过锆合金为主要材料制造的压力管排出。纯锆的中子吸收截面非常低,但是由于其强度和抗蚀性能无法满足制造压力管的要求,因此人们在锆中往往添加一些合金元素,提高其力学性能和抗蚀能力,同时不大幅增加其中子吸收截面。锆合金在300~400℃的高温高压水和蒸汽中有良好的耐蚀性能、适中的力...
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