技术编号:19479104
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微型机械电子mems开关技术领域,具体涉及一种硅基金属触头自锁定mems开关。背景技术开关是自动控制电路中的一个关键部件,其在电路中的主要功能是自动调节、安全保护、转换电路等,mems开关将机电开关机构与微加工工艺相结合,为微型化,集成化和低功耗设计提供了广阔的发展空间,为高性能电路系统的发展提供了有效的方案。在国防武器、航空航天等应用场合通常要求mems开关可靠性高,接触阻抗小,功耗低,同时还要求其体积小、重量轻、响应快等。热驱动mems执行器依据固体材料的热膨胀效应制得,其结构种类...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。