技术编号:19483902
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是一种辉光放电光谱仪自动样品加载装置及其加载方法,属于光谱分析技术领域。背景技术辉光放电发射光谱技术(简称gds)可以通过离子溅射的方式将材料表面的原子层一层层溅射出,从而逐层(深度分辨率可达1~10nm)获得材料表面化学成分的定量分析结果,而且可以直观看出涂层或界面的厚度(如图4所示)。gds技术能直接进行导体、非金属、薄膜、半导体、绝缘体和有机材料等固体样品的表层分析和逐层分析,应用极为广泛。目前,gds技术已经成功地应用于半导体工业、汽车工业、钢铁工业、玻璃、陶瓷工业、建筑材料工业等...
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