技术编号:1954273
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于石英玻璃领域,具体涉及到一种合成石英玻璃用燃烧器。技术背景在CVD合成三类石英玻璃工艺中,燃烧器是工艺流程中一个关键部件,完 成氢氧气的混合和燃烧,将四氯化硅引入反应器内并通过氧化或者水解反应生成 纳米状态的二氧化硅颗粒,在合适的温度下沉积到基体上并熔融形成石英玻璃。 目前常用的燃烧器为氢气带料,即氢气通过鼓泡瓶将气态四氯化硅引入燃烧器 内,这种燃烧器燃烧能力较弱,四氯化硅基本上依靠火焰内部的水解反应来生成 二氧化硅颗粒,因此当四氯化硅流量加...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。